为了提高偏振分束器的消光比，利用混合等离子体波导和条形介质波导之间的非对称定向耦合特性，设计了由两个尺寸不同的硅波导和一个中间输入混合等离子体波导组成的偏振分束器，采用三维时域有限差分法对偏振分束器的结构和性能进行优化。实验结果表明：混合等离子体波导中TE和TM模式的双折射率对比通过介质加载波导增强，可获得超紧凑的结构，实验耦合长度仅有4.6 μm；在1.55 μm的中心波长处，TE模式的偏振消光比为-38.9 dB，插入损耗为0.5 dB，TM模式的消光比为-34.7 dB，插入损耗为0.45 dB，设计的偏振分束器具有高消光比；在波导制作公差范围内，模式的插入损耗小于2.8 dB，消光比低于-22.5 dB。